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概述：
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
容积（工作容积）
50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1
60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1
E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1
E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1
泵的压差 ?
50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr
60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr
入口连接 ISO100
出口连接 ISO63
转速
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
连续入口操作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口压力 1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵 GV80，E2M80
电源供给
50Hz 220-240V/380-415V
60Hz 230V/460V
马达功率
碳氢化合物 2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3hp
环境温度范围
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存储 -10 至 80°C/14 至 176°F
最大操作湿度 90% RH
推荐用油
标准型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6
油容量
联结器箱 1.5 升
轴杆封口储油器 0.125 升
重量* 106 kg/233 lb
