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技术数据
容积（工作容积）
50Hz 310 m3h-1/185 ft3min-1
60Hz 375 m3h-1/220 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40 240 m3h-1/141 ft3min-1
E1M80 或 E2M80 274 m3h-1/161 ft3min-1
泵的压差
50Hz 0-180 mbar/0-140 Torr
60Hz 0-150 mbar/0-115 Torr
入口连接 ISO63
出口连接 ISO40
转速 ?
50Hz 0-2900 rpm
60Hz 0-3500 rpm
连续入口操作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口压力 1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵 GV80，E1M/E2M40，E1M/E2M80
电源电压，3 相
50Hz 220 – 240V/380 – 415V
60Hz 230V/460V
马达功率
碳氢化合物 2.2kW/3hp
PFPE 2.2kW/3hp
ATEX 2.2kW
防爆型 3 相
环境温度范围
操作 5 至 40°C/40 至 104°F
存储 -10 至 80°C/14 至 176°F
最大操作湿度 90% RH
推荐用油
标准型 Ultragrade 20
PFPE 版本 Fomblin YVAC 16/6
油容量
联结器箱 1.5 升/1.6 qt
轴杆封口储油器 0.125 升
重量* 69 kg/152 lb
应用
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱，干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜 - SEM
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
